場發射電鏡(FieldEmission Scanning Electron Microscope，FESEM)是一種高精密度的電子光學儀器，廣泛應用于材料科學、生物學、地質學等領域。為了確保其正常運行和延長使用壽命，需要對場發射掃描電鏡進行定期的維護和保養。
 

　　一、環境條件控制
 

　　1.溫度與濕度：保持電鏡室內的溫度和濕度穩定，避免溫度和濕度對設備的影響。
 

　　2.無塵環境：盡量將設備放置在無塵環境中，以減少灰塵對設備內部元件的污染。
 

　　3.減震防震：確保設備放置在穩固的工作臺上，避免震動對設備性能的影響。
 

　　4.磁場干擾：避免強磁場干擾，確保設備的正常運行。
 

　　5.接地良好：確保設備接地良好，防止靜電積累對設備造成損害。
 

　　二、清潔設備
 

　　1.表面清潔：每天工作結束后，應清理設備表面的灰塵、污漬等雜物，保持設備干凈整潔。
 

　　2.關鍵部件清潔：對于鏡片、樣品倉等關鍵部件，需要定期進行深度清潔，以確保其性能不受影響。
 

　　三、真空系統維護
 

　　1.真空泵檢查：定期檢查真空泵油的油位和油質，確保真空泵正常運行。
 

　　2.真空管路檢查：檢查真空管路和密封件，確保無泄漏現象。
 

　　3.濾芯更換：定期對真空系統進行清洗和更換濾芯，以保持真空度的穩定性。
 

　　四、電子槍維護
 

　　1.燈絲電流檢查：定期檢查電子槍的燈絲電流，確保其在正常范圍內。
 

　　2.加速電壓檢查：檢查電子槍的加速電壓，確保其在安全范圍內。
 

　　3.冷卻系統檢查：檢查電子槍的冷卻系統，確保冷卻水流量和溫度正常。
 

　　五、透鏡系統維護
 

　　1.參數檢查：定期檢查透鏡的電流、電壓等參數，確保其在正常范圍內。
 

　　2.冷卻系統檢查：檢查透鏡的冷卻系統，確保冷卻水流量和溫度正常。
 

　　六、檢測器維護
 

　　1.參數檢查：定期檢查檢測器的電壓、電流等參數，確保其在正常范圍內。
 

　　2.冷卻系統檢查：檢查檢測器的冷卻系統，確保冷卻水流量和溫度正常。
 

　　七、電氣系統維護
 

　　1.線路檢查：定期檢查電氣線路、插頭、開關等元件，確保連接牢固，無松動、破損等現象。
 

　　2.散熱風扇檢查：檢查電氣柜內的散熱風扇，確保其正常運行，避免因散熱不良導致電器元件損壞。
 

　　八、場發射電鏡的操作注意事項
 

　　1.細心操作：在操作過程中，應細心觀察電鏡狀態，洞察非常態現象，將故障防患于未然。
 

　　2.及時排除故障：出現故障時要冷靜分析，從報錯、操作狀態著手，首先排除軟件故障，再分析硬件故障，必要時及時與廠商專業維修人員溝通。
 

　　3.正確處理試樣：保持試樣清潔、干燥和具有良好的導電性、導熱性，從加速電壓、焦距、探測器模式等多方面正確處理特性各異的試樣。